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產(chǎn)品資料
電子束蒸發(fā)設(shè)備BJD/FC-2000
簡介：

Temescal電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是為更高效率、高精準(zhǔn)鍍膜產(chǎn)能而設(shè)計的物理氣相沉積生產(chǎn)型設(shè)備。這個指導(dǎo)原則支配著Temescal整個產(chǎn)品線的設(shè)計思想。Temescal經(jīng)典系列系統(tǒng)符合人體工程學(xué)設(shè)計，具備強(qiáng)大的生產(chǎn)能力和高均勻性。
產(chǎn)品詳情

Temescal的FC-2000和BJD-2000系統(tǒng)式通用型電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，通過選用不同的附件配置，適合絕大多數(shù)沉積應(yīng)用要求，除了高效運(yùn)行和兼容潔凈室的特點(diǎn)，該系統(tǒng)還具有極強(qiáng)的靈活性，以方便使用。其中FC-2000是一款具有快速工藝周期能力以及真空鎖結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)，可以在裝卸基片時讓電子束蒸發(fā)源保持在高真空狀態(tài)。而BJD-2000系統(tǒng)則沒有真空鎖結(jié)構(gòu)。



產(chǎn)品性能：


  • 腔室類型：Bell jar
  • 低溫泵型號及抽速：CT-8，4000L/s
  • 典型抽真空時間：到達(dá)1E-6Torr抽氣時長小于15min
  • 電子束蒸發(fā)源可安裝數(shù)量：4X25cc Poptop +1 fixed pocket
  • 電子槍電源：6kw 或 12kw
  • 離子源（選配）：MKI filament
  • 晶圓裝載量（lift-off)：42X2“，13X100mm
  • 源基間距：19.5”（標(biāo)準(zhǔn)），27.5”（加長）
  • 腔室觀察窗：4"廣角
  • 均勻性修正板：1個固定式
  • 可拆卸的不銹鋼護(hù)甲：是
  • 可升降的雙向旋轉(zhuǎn)的源托架：是
  • 所有接觸真空環(huán)境的設(shè)備表面：304不銹鋼



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