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產(chǎn)品資料
氣相沉積設(shè)備ATS500
簡(jiǎn)介:

ATS500是一款靈活的電子束蒸發(fā)物**相沉積系統(tǒng),適用于研發(fā)和生產(chǎn)。

產(chǎn)品詳情

ATS 500設(shè)計(jì)用于OLED、有機(jī)電子應(yīng)用、光伏、半導(dǎo)體器件、透鏡和光學(xué)濾波器的研發(fā)和小批量生產(chǎn)。

系統(tǒng)特色是配有全彩觸摸屏的PLC,集成了工藝菜單控制和數(shù)據(jù)記錄功能,可以選配全電腦控制。


ATS 500提供廣泛的工藝選項(xiàng),包括:


  • 熱阻蒸發(fā)源。
  • 溫度控制蒸發(fā)源,用于OLED和有機(jī)光伏應(yīng)用。
  • 電子束蒸發(fā)源,用于高速率蒸發(fā)。
  • 離子束輔助,用于光學(xué)應(yīng)用或者基板清洗。
  • DC、RF和脈沖DC源,用于金屬和電解質(zhì)向上或者向下的濺射工藝。
  • 以上兩
    個(gè)或者多個(gè)功能的混合系統(tǒng)


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